Hiện mức học phí các ngành, chương trình thuộc lĩnh vực vi mạch, bán dẫn ở các trường từ 16 đến 78 triệu đồng/ năm. Bộ Giáo dục và Đào tạo (GD&ĐT) đang đề nghị miễn, giảm học phí cho các sinh viên theo học ngành này.